●45nm工艺是史上最大的革新
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手拿Penryn 晶圆的Paolo Gargini |
24日在都内召开的记者说明会上,赴日的美国总部研究人员Paolo Gargini说明了使用45nm工艺的新技术等。
Paolo表示,45nm工艺是“晶体管历史上最大的革新”。就其原因而言,最新使用的铪系High-k素材和metal gate,降低了漏电提高了开关速率。
在过去的40年中,Gate绝缘膜的材料中采用了SiO2。但是在90nm之后这种绝缘膜的厚度达到1.2nm,大约4个分子的薄厚,达到了极限。也因此增加了电流流量,使得消耗的电力也增加了。
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使用High-k素材会使绝缘膜增厚 |
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由于采用了High-K,在消耗相同电力的情况下晶体管性能增加20%,而同等性能的情况下则可以减少5分之1的电力 |
采用45nm工艺的High-k绝缘膜厚达3.0nm,比原来的约厚3倍,通过与metal gate相结合,使漏电量成为原来的5分之1,绝缘膜上的漏电量减少为原来的10分之1。此外,晶体管开关的消耗电力也减少了30%,启动时间加快了20%以上。
与当前的65nm工艺产品相比较,相同漏电时约可提高晶体管性能20%以上。相同晶体管性能下则可以降低5分之1的漏电。Paolo还表示:“45nm工艺制造出的Penryn可实现更高的性能,Silverthorne则可实现超低的电力消耗”。